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[물리화학實驗] Scanning Electron Microscopy [SEM] - 예비와 결과 리포트

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작성일 23-03-04 19:07

본문

Download : [물리화학실험] Scanning El.hwp

2. 기판 위에 얹은 Co 박막을 SEM 장비를 통해 분석한다.• 대물 렌즈(Object lenses)

Download : [물리화학실험] Scanning El.hwp( 94 )

• 집광 렌즈(Condenser lenses)

[물리화학實驗] Scanning Electron Microscopy [SEM] - 예비와 결과 리포트
- Tungsten filament cathode : 약 2700K 가열되어 열전자 방출

- 전자빔의 경로 조절하고 전자총부위를 觀察 할 수 있음
- 렌즈에 고정된 조리개를 통하여 spot size를 줄이거나 수차 조절

- vacuum 내의 공기를 빼내는 것
1. SEM 장비의 원리를 이해한다. 3. Co 박막의 위상학적 정보를 수집하며, 이를 분석하여 Co 박막의 자기적, 결정학적 성질을 발견한다

Scanning Electron Microscopy ,SEM

• 전자 광학계(Electrical Optical System)
• 전자총(Elecrton Gun)
3. Co 박막의 위상학적 정보를 수집하며, 이를 분석하여 Co 박막의 자기적, 결정학적 성질을 발견한다
- Deflection coil : scan generator 연결되어 표면에 형성된 spot 을 체계적으로 이동
레포트 > 자연과학계열

이 때 비점수차 발생. Stimators를 이용하여 교정

• 진공계(Vacuum system)
1. SEM 장비의 원리를 이해한다.

순서
- LaB6 filament cathode : LaB6 과 같은 희토류산화물 높은 열전자 방출
설명
- 2nm 이하 크기의 spot 을 형성(작을 수록 분해능 증가)

- Field emission cathode :필라멘트 표면에 고압의 전위차를 걸어주어 전자를 방출

다.
- Stigmator : CRT 화소 (pixel)는 둥근데 반해 2차전자빔은 둥글지 않다. 2. 기판 위에 얹은 Co 박막을 SEM 장비를 통해 분석한다.

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